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恒歌大流量多工藝潔凈室過濾器

簡要描述:大流量氣體過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-11-11
  • 訪  問  量:101

詳細(xì)介紹


用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體大流量過濾器

產(chǎn)品介紹

大流量氣體過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案


產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?;烊?,幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計









恒歌大流量多工藝潔凈室過濾器















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